压电薄膜是决定压电MEMS器件性能的核心材料，在MEMS传感器和执行器等领域应用广泛。beat365官方最新版自主研制高性能压电薄膜，其高压电系数将有望大幅提高现有压电传感器灵敏度基准。">
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压电薄膜是决定压电MEMS器件性能的核心材料，在MEMS传感器和执行器等领域应用广泛。beat365官方最新版自主研制高性能压电薄膜，其高压电系数将有望大幅提高现有压电传感器灵敏度基准。
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压电薄膜是决定压电MEMS器件性能的核心材料，在MEMS传感器和执行器等领域应用广泛。beat365官方最新版自主研制高性能压电薄膜，其高压电系数将有望大幅提高现有压电传感器灵敏度基准。
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